应用材料公司推进OLED显示生产推出面向柔性移动产品和曲面电视的全新OLED显示生产设备

应用材料公司日前发布了两款新系统：AKT-20KTMTFE PECVD* 和Applied AKT-40KTMTFE PECVD，主要面向高解析度、轻薄型电视和移动设备的柔性OLED 显示屏幕的批量生产，能有效沉积薄膜封装阻隔层，对保护敏感性极高的OLED 器件具有重要意义，成为材料工程领域的又一项重大突破。这两款新系统能帮助显示器制造商替代设备前方的刚性绝缘玻璃，开发出适用于新一代消费电子产品的可弯曲和曲面显示屏。

OLED 屏幕凭借鲜艳亮丽的色彩和低能耗特性已在智能手机中得到迅速普及，其中柔性OLED 是移动通信领域增长最迅猛的显示设备。

全新的薄膜封装(TFE)系统(925 mm×1 500 mm基板为20K，1 250 mm×2 200mm 基板为40K）面向不同的显示细分市场，可以更灵活地满足各类大、小尺寸的更加轻薄型柔性OLED 显示设备不断增长的需求。

Applied AKT TFE 产品线的主要特色在于其能提供极低透水和透氧性的扩散阻挡薄膜，从而大幅提升OLED 的使用寿命。这些高性能薄膜都在100 ℃以下的环境中沉积，解决了OLED 材料在暴露于外部环境中易于降解的问题。此外，该系统采用独特的视觉对准技术，保证了精准的掩膜定位和沉积，使显示设备制造商能减少光刻和蚀刻工序，从而降低生产成本。

*TFE=薄膜封装；*PECVD=等离子体增强化学气相沉积