半导体器件静态直流参数能力比对方法

赵青莲 张学洋 郑晓红

摘要：实验室间能力比对作为重要的外部质量评价手段，被越来越多的实验室所采用，它不仅是质量控制的一种有效方法，也是衡量各实验室间能力的一个重要手段。而半导体器件静态直流参数是器件基本参数之一，是半导体器件筛选环节必检项目。该文以半导体器件静态直流参数为例阐述实验室间能力比对的方法。

关键词：能力比对;半导体器件;直流参数

中图分类号：TP391 文献标识码：A

文章编号：1009-3044（2020）12-0259-03

1比对意义和目的

半导体器件静态直流参数是表征半导体器件性质的主要参数，是半导体器件生产厂、使用单位验证半导体器件质量的必检项目之一。通过能力验证：①能够考察各检测实验室测量量值的一致程度，②考察各检测实验室测量标准的可靠程度，③核查各检测实验室的测量准确度是否保持在规定的范围内，④考察各检测实验室测量人员水平和数据处理的能力，发现问题，积累经验。比对是能力验证的一种组成方式。本次比对活动属于各检测实验室根据需要开展的非官方实验室间的比对活动。

为了解本实验室与行业内该项目的检测能力现状，提高元器件检测实验室半导体器件直流参数测试能力的整体水平，贵州航天计量测试技术研究所（以下简称航天测试）组织并实施半导体器件直流参数技术能力比对工作。

2比对项目和内容

本次比对的项目为半导体器件的静态直流参数，实施时间为2019年4月-2019年5月，测试的参数包括采样保持器FX198的采样一保持输入失调电压Vos、输入失调电流IIB、电源电流Is。晶闸管3CT4KDJ的通态平均电压VT、控制级触发电压VGT、维持电流IH。

3被测器件说明

3.1被测器件

航天測试选取昆山晶体管厂有限公司生产的3只晶闸管3CT4KDJ和振华风光半导体厂（4433厂）生产的5只采样保持器FX198作为被测器件，晶闸管3CT4KDJ和采样保持器FX198各取1只作为比对用，其余均作为备用。为尽可能地减少客观影响，对器件的测试条件和合格判限进行统一规定，器件测试的操作要求按照本实验室作业指导书进行，并随器件一并提供。被测器件的基本参数详见表1。

3.2样品流转

由于半导体器件比较敏感，不当操作可能会导致器件特性发生一定变化，因此比对实验室按照实施方案检测完毕后将样品送回主导实验室，经主导实验室确认器件状态无误后送往下一个比对实验室。本次比对由航天测试负责比对器件的运输，被检器件用专用包装盒进行包装，通过快递传递到各比对实验室。比对实验室收到被测器件后检查被测器件是否完好，是否工作正常。检查结果双方确认后在进行测试。

4参比实验室比对情况概述

4.1参比实验室信息

根据各家实验室能力，航天测试积极沟通确认，最终确定4家实验室参加此次比对，各参比实验室名称如表2所示，各参比实验室所用检测设备信息如表3所示。各实验室所用检测设备能力均满足本次比对项目和内容的测试要求，并在计量有效期内。